在按鈕被按下之後,整個碩大的工件臺開始自調整位置,然後硅片臺和掩模臺依次自關閉。
繼而設備之中發出一道機械運轉的聲音,然後只是十幾秒的時間,就只見作臺上面的一顆綠指示燈亮起。
工件臺自打開,里面的晶圓硅片被通過機械結構轉移到旁邊的微型清洗池中。
不
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