“EUV極紫外技麼……”
聽到這個無比悉的名詞,楚揚神微微有些復雜,勾起了上一世的一些回憶。
現在這個時候市場上主流的刻機設備大多是采用了DUV深紫外技,這種技目前已經頗為,但限于深紫外的波長尺寸原因,所以DUV技的極限僅可以生產出20納米以上
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