周平如實匯報道:“麻煩不在于0.13微米的線寬,咱們的刻機度足夠。麻煩在于車規級和eFlash。”
“嵌式閃存的工藝流程非常長,比常規芯片多出十幾層罩,需要在高溫氧化爐里反復烘烤,稍有雜質就會導致整個晶圓報廢。而且車規級芯片要求零缺陷,這半年來咱們產線上還沒跑過這麼復雜的車
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