“許總，咱們這臺65納米干式機，底子打得非常優秀。尤其是長天學的鏡和天卓的工件臺，能余量很大。”賀建國解釋道，“目前，我們在65納米的基礎上搞浸沒式DUV（利用水來折線，提高分辨率），已經進了實驗室驗證階段。各項參數表明，只要解決好流控制問題，分辨率完全可以下探到45納米，甚至突
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