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第1卷 第604章 28nm浸沒式DUV光刻機原型機

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魔都,張江高科技園區,上微電子總部。

在最高級別的超凈實驗室,賀建國總工正帶著十幾名核心研發人員,圍繞著一臺剛剛組裝完畢、積龐大得如同兩層樓高的小型工廠的機,進行著張的最後整機聯調。

這,就是代表著華國目前半導工業制造最高水平的——28nm浸沒式DUV刻機第

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