早在年前基金給的500億投資款即時到賬后，前沿就分出來多達76億的資金款來籌備生產白澤半導一二期所需要的DUV刻機。
據相關規劃，為了實現年產百萬片12寸晶圓，需要38臺刻機。
這還是在當時預計清華能解決‘工件臺系統’穩定的可能下。
好在，去年海
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