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院長鄧國輝兼任刻機源研究所所長，副院長歐民兼任硅晶圓研究所所長。
刻機設備研究所、刻蝕機研究所、刻機熱理研究所、刻膠研究所、掩版研究所、離子注機研究所和刻機半導信息部所長（部長）的人選待定。
任命錢
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