以學部委員黃坤、王首武和鄧國輝為首的十二名刻機半導專家組的專家鑒定組,通過現場測試,專家組組長黃坤親自書寫鑒定報告。
京城半導設備份有限公司研發功的刻機雙工作枱系統,在現場,對磁懸浮式雙工作枱系統進行了十次測試,能提升晶片製程工藝度15%,提高晶片生產效率35%,還
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