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第一一一八章 浸沒式光刻系統遇到難題

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800nm製程工藝的專利技對於gca來說如同肋,但對於bsec如同神助,掌握後就能越1um製程工藝,掌握800nm製程工藝技

擁有了193nm的arfi準分子激的製造技和800nm製程工藝的專利技,但bsec還不能生產自主知識產權的1um製程工藝的刻機。

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