EUVLLc聯研發費用出資比例中，牽頭的國能源部出30%，Intel和GcA各出20%，motorola、Ibm、It、Adm和hp各出4%，micron和cymer等其他33家科技企業和研究機構共出10%，今後的權利同出資比例相同。
GcA需要出資的20%中，以前的EUV
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