「董事長,要是Nikon在我們之前,率先攻克157nm激技,率先研發功65nm製程工藝的刻機,我們如何應對?」
cto湯普森知道EUV刻機不是短時間能研製功的,也主張兩條走路,GcA研究院如今也在研發157nm激,由於GcA一直以研發EUV為主,157n
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