1980年左右,中科院半導所開始研製jk-1型半自接近式刻機,於1981年研製功兩臺樣機。
而由於國在50年代就已經擁有了接式刻機,相比之下,中國落後了將近20年,同時國外從1978年開始轉向分步重複投影刻,此時中國科學界也認識到,分佈投影刻技的優越,但限於國
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