水木大學,微電子所。
8月中旬的時候,李信義博士終于不負所,在團隊的多次的研討之下,初步找到了一個新的辦法。
通過刻蝕技,在襯底上形底電極,再利用外延技,先后布上鉛鈣鈦礦層,之上再做頂電極。
雖然整個思路是有了,但制備卻并不容易。
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