至于第三點，那就是潔凈室，潔凈等級要求更高，無塵車間的空氣要比外面干凈10000倍以上。
第四，則是高數值孔徑的反鏡，要求表面非常的平整。
如果放大到華國那麼大，表面的起伏度也要低于一頭發。
這幾個難點，是研發euv刻機的攔路虎。
第334章 接連不斷地好消息傳來
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